第429章 魔都微电子(1 / 3)
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“贺总,对於euv技术,你们怎么看?”
贺天成明显愣了一下,旋即苦笑起来,摆了摆手。
“马总,咱们得脚踏实地啊。”
他嘆了口气,像是要把胸中的鬱结之气都吐出来。
“国內的光源技术跟国外差著几代呢。別提euv了,就是现在主流duv用的arf雷射光源模块,我们都造不出来。euv那种东西,在国际上都还没有成熟,对我们来说,太遥远了。”
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马宇腾扶了扶眼镜,镜片后的目光看不出情绪。
他脑中闪过一些被埋藏在记忆深处的零碎信息。
“我听说国內有一种晶体,能產生深紫外雷射,相关技术在国际上是独一份的。”
“这种晶体,能不能用到光刻机光源上?”
贺天成原本有些黯淡的眼睛,瞬间亮了一下。
“马总说的是kbbf晶体?”
他站起身,像是被触动了某个开关,激动地走到会议室的白板前。
“那是科学院陈老团队的成果!他们九六年就用那玩意儿搞出了六倍频技术,能把1064纳米的雷射,硬生生倍频成纳米的深紫外光!”
马宇腾紧跟著追问:“既然有这种好东西,为什么不用它来做光刻机的光源系统?” ↑↑